SBB/GBB ROOM

• Size : 8000 × 8000 × 8000
• Pressure : 2.0kgf~7.5kgf

SBB/GBB ROOM

• Size : 8000 × 8000 × 8000
• Pressure : 2.0kgf~7.5kgf

Electrolyzerand neutralizer

• Size : 6000 × 8000 × 5000 / 각
• Volume : 192,000ℓ / 각

Rectifier

• Volume : 12V × 10,000A × 3

Water distiller

• Volume : 18MΩ·cm

Curing oven1

• Size : 6000 × 8000 × 6150
• Temperature : 100°C

Curing oven2

• Size : 8000 × 8000 × 6000
• Temperature : 200°C

Precision cleaning room

IC analyzer (ECO IC)